Ионная имплантация: оборудование и методика

Рецензия: I o n I m p l a n t a t i o n : E q u i p m e n t a n d T e c h n i q u e s/Ed. H. Ryssel, H. G. Glawischnig. — Berlin; Heidelberg; New York; Tokyo: Springer-Verlag, 1983.- 556 p .- (Springer Series in Electrophysics. V. 11).

Текст pdf (538 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0143.198406s.0336
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/6/s/
Цитата: Вавилов В С "Ионная имплантация: оборудование и методика" УФН 143 336–337 (1984)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Похожие статьи (20) ↓

В.С. Вавилов «Техника ионной имплантации» УФН 140 737–738 (1983)
В.С. Вавилов «Распыление твердых тел бомбардировкой частицами» УФН 144 544–545 (1984)
В.С. Вавилов «Свойства алмазов и алмазных пленок» УФН 165 1102–1103 (1995)
В.С. Вавилов «Свойства природного и синтетического алмаза» УФН 163 (11) 99–101 (1993)
В.С. Вавилов «Современные сведения о полупроводниках» УФН 166 807–808 (1996)
В.С. Вавилов «Настольная книга по проблеме промышленных алмазов и алмазных пленок» УФН 168 1149–1152 (1998)
В.С. Вавилов «Проблема полупроводников» УФН 76 759–761 (1962)
В.С. Вавилов «Сборник «Проблема полупроводников» т.5» УФН 74 759–761 (1961)
В.С. Вавилов «Проблемы физики полупроводников. Сборник статей» УФН 65 547–548 (1958)
А.П. Силин «Энциклопедия полупроводников» УФН 143 337–337 (1984)
А.П. Силин «Энциклопедия полупроводников» УФН 148 732–732 (1986)
В.Ф. Муханов «Прикладные аспекты теории относительности» УФН 148 387–388 (1986)
Л.С. Кузьмин, К.К. Лихарев «Хорошее введение в теорию параметрических систем» УФН 138 687–687 (1982)
К.П. Зыбин «Кинетическая теория частиц и фотонов» УФН 154 536–537 (1988)
А.П. Силин «Сильные магнитные поля в физике полупроводников» УФН 155 736–737 (1988)
Л.Н. Булаевский «Магнитные возбуждения и флуктуации» УФН 149 354–355 (1986)
С.Е. Сигарев «Кристаллические структуры простых силикатов» УФН 148 732–733 (1986)
Г.В. Сапарин «Просвечивающая электронная микроскопия (Физика формирования изображения и микроанализ)» УФН 145 178–180 (1985)
Д.И. Хомский «Магнитные фазовые переходы» УФН 145 181–182 (1985)
Я.Б. Зельдович, Б.Б. Кадомцев «Физика гравитирующих систем» УФН 149 351–353 (1986)

Список формируется автоматически.